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什么是干膜感光速度?什么是干膜曝光時(shí)間寬容度?

2020-12-12 18:09:17

1.干膜感光速度是多少?
干膜的感光速度是指光致抗蝕劑受到紫外光照射時(shí)的光能量,與聚合單體發(fā)生聚合反應(yīng)形成具有一定耐腐蝕性的聚合物所。在光源強(qiáng)度和光距固定的情況下,感光速度以曝光時(shí)間的長(zhǎng)短為特征,曝光時(shí)間短意味著感光速度快。
2.干膜曝光的時(shí)間公差是多少?
經(jīng)過一段時(shí)間的干膜曝光后,所有或大部分光刻膠層已經(jīng)顯影聚合。一般來說,可以使用形成的圖案,這個(gè)時(shí)間稱為最小曝光時(shí)間。繼續(xù)延長(zhǎng)曝光時(shí)間,使光刻膠聚合得到徹底的處理,顯影后得到的圖案尺寸仍與膠片底片尺寸一致,稱為最大曝光時(shí)間。通常干膜的最佳曝光時(shí)間在最小曝光時(shí)間和最大曝光時(shí)間之間。最大曝光時(shí)間與最小曝光時(shí)間之比稱為曝光時(shí)間容差。

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